вызвано, по всей видимости, наличием значительного угла разориентирования развитой мозаичной структуры кристаллов.

Выводы. Таким образом, в данной работе показана перспективность использования метода ЭЛАН для получения наноструктур в поверхностном слое напыленных образцов. Основываясь на полученных результатах, можно заключить, что имеется определенный разброс величины ОКР и параметров решетки, не имеющий определенной тенденции и вызванный варьированием режимов напыления.

Поэтому необходимы дальнейшие экспериментальные исследования, для выявления наиболее благоприятных режимов получения наноструктур (варьирование параметров технологического процесса и материалов) и визуальной оценки микроструктуры напыляемого слоя (электронная микроскопия).

Благодарности. Авторы выражают признательность профессору Ростовского государственного университета Куприянову М. Ф. за ценные замечания и непосредственную помощь в проведении исследований.

Представленная работа выполнена при поддержке гранта РФФИ № 04-03-32039.

Рисунок 4 - Зависимость параметров микроструктуры от технологических режимов

Литература

1Гусев А.И., Ремпель А.А. Нанокристаллические материалы. М., Физматлит, 2000. 223 с.

2Валиев Р.З., Александров И.В. Наноструктурные материалы, полученные методом интенсивной пластической деформации. М., Логос, 2000. 272 с.

3Минаков В.С. Разработка комплексных механических и электрофизических процессов обработки на основе использования энергии трансформируемых ультразвуковых колебаний. Дис. д-ра техн. наук - Ростов н/Д, 1989. 350 c.

4Кочетов А.Н. Барьерно-дислокационный механизм упрочнения деталей машин методом электроакустического напыления. - Дис. к-та техн. наук - Ростов н/Д, 1996. 185 с.

5Усманский Я.С., Скаков Ю.А. Физика металлов. - М., Атомиздат, 1978. C. 45.

6Вишняков Я.Д. Современные методы исследования структуры деформированных кристаллов. - М.: Металлургия, 1975.

7Горелик С.С., Скаков Ю.А., Расторгуев Л.Н. Рентгенографический и электронно-оптический анализ. - М.: МИСИС, 1994.

8Кофанов Н.Б., Куприна Ю.А., Куприянов М.Ф. О размерных эффектах в титанате бария. Изв. АН, сер. физ., 2002, т.66, №6, с. 839-841.