| ||||
|
Главная страница » Энциклопедия строителя содержание: [стр.Введение] [стр.1] [стр.2] страница - 2 Рис.9. Устранение неравномерности фона поляризационно-оптического изображения монокристалла 6H-SiC с помощью высокочастотной фильтрации с предварительной обработкой нелинейным фильтром. Выводы Таким образом, для реализации вейвлет-обработки поляризационно-оптических изображений, а также топограмм с сильной фоновой неоднородностью, можно использовать пакет математического проектирования MATLAB 6.5, включающий в себя 3 различных ортогональных вейвлет-базиса: вейвлет Симлета, вейвлет Коифлета и вейвлет Добеши. Анализируя изображения, обработанные этими вейвлетами, можно видеть, что результат обработки идентичен и на практике удаётся успешно избавиться от сильной фоновой неоднородности. При этом становится доступной информация о структурном совершенстве исследуемого монокристалла, ранее скрытая в сильно затемнённых и осветлённых областях. Сопоставляя полученный результат с данными работ [6, 9], можно констатировать, что вейвлет-анализ требует меньше времени на обработку экспериментального контраста и позволяет надёжно идентифицировать тип дефекта структуры, а также оценить качество механической и химической обработки поверхности монокристалла. Литература 1.Шульпина И.Л. / Рентгеновская дифракционная топография. Этапы и тенденции развития. Поверхность. 2000, В. 4, с. 3-18. 2.Суворов Э.В., Шульпина И.Л. / Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2001, № 7, с. 3-22. 3.Данильчук Л.Н., Дроздов Ю.А., Окунев А.О., Ткаль В. А., Шульпина И. Л. Рентгеновская топография дефектов структуры монокристаллических полупроводников на основе эффекта Бормана (обзор). Заводская лаборатория. Диагностика материалов. 2002, Т.68, №11, с.24-33. 4.Дроздов Ю.А., Окунев А.О., Ткаль В.А., Шульпина И.Л. Исследование дислокаций в монокристаллическом карбиде кремния поляризационно-оптическим методом. Заводская лаборатория. Диагностика материалов, 2003, Т 69, N 1, с. 24-29. 5.Дроздов Ю.А., Окунев А.О., Ткаль В.А., Шульпина И.Л. Применение компьютерной обработки рентгенотопографических изображений для идентификации дефектов структуры монокристаллов. Заводская лаборатория. Диагностика материалов, 2002, Т. 68, N 12, с. 30-36. 6.Дроздов Ю.А., Ткаль В.А., Окунев А.О., Данильчук Л.Н. Устранение фоновой неоднородности и влияния зернистости фотоматериалов на топографические и поляризационно-оптические изображения дефектов структуры монокристаллов Заводская лаборатория. Диагностика материалов, 2004, № 7, с.25-34. 7.Белехов Я.С., Дроздов Ю.А., Петров М.Н., Ткаль В.А. Сопоставление Фурье-анализа в цифровой обработке топографического контраста дефектов полупроводниковых структур. В кн.: Современные методы анализа дифракционных данных (рентгенотопография, дифрактометрия, электронная микроскопия)": Прогр. и тез. докл. Второго науч. семинара с междунар. участием. 26-28 мая 2004 г./ НовГУ им. Ярослава Мудрого. Великий Новгород, 2004, с.42-45. 8.Ткаль В.А., Окунев А.О., Дроздов Ю.А., Данильчук Л.Н. Применение цифровой обработки для выявления топографических изображений микродефектов и дефектов фотоэмульсии. Заводская лаборатория. Диагностика материалов, 2004, Т.70, № 11, с.23-28. 9.Цифровая обработка рентгенотопографических и поляризационно-оптических изображений дефектов структуры монокристаллов / Л.Н. Данильчук, В.А. Ткаль, А.О. Окунев, Ю.А. Дроздов; НовГУ им. Ярослава Мудрого. - Великий Новгород, 2004. - 227 с. 10.Рудаков П.И., Сафонов В.И. Обработка сигналов и изображений. MATLAB 5.х. - М.: Диалог - МИФИ, 2000. - 416 с. 11.Дьяконов В. П. От теории к практике. Вейвлеты. - М.: СОЛОН-Р, - 2002. 448 с. 12.Чуи Ч. Введение в вейвлеты: Пер. с англ. - М.: Мир, 2001. - 412 с. 13.Белехов Я.С., Дроздов Ю.А., Петров М.Н., Ткаль В.А. Сопоставление Фурье-анализа в цифровой обработке топографического контраста дефектов полупроводниковых структур. В кн.: Современные методы анализа дифракционных данных (рентгенотопография, дифрактометрия, электронная микроскопия): Прогр. и тез. докл. Второго науч. семинара с междунар. участием. 26-28 мая 2004 г./ НовГУ им. Ярослава Мудрого. Великий Новгород, 2004. - с.42-45. 14.Белехов Я.С., Петров М.Н., Дроздов Ю.А. Сопоставление Фурье- и вейвлет-анализа в цифровой обработке топографического контраста дефектов полупроводниковых структур. Вестник НовГУ. Естественные и технические науки. 2004. № 26, с.145-151. содержание: [стр.Введение] [стр.1] [стр.2] |
|||
© ЗАО "ЛэндМэн" |