2.Карманов В.Т., Хохлов А.Ф. и др. Влияние радиационных дефектов на диффузию примесей в кремнии. ФТП. 1977 т. 11 вып. 10, с. 1871.

3.Самарский А. А., Гумен А.В. Численные методы. М.: Высшая школа,

1989.

4.Шауцуков А.Г., Грачёв А.А. Оптимизация режимов фотонного отжига ионно-легированных слоёв СБИС. В сб.: Материалы докладов международного научно-технического семинара. Шумовые и деградационные процессы в полупроводниковых приборах. Москва 1999, с.261-266.